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企业要闻

800mm口径平面激光干涉仪通过验收

——南京天仪又添重大检测装置

  

  2022年1月25日,国家重点研发计划子课题 “800mm平面干涉仪技术开发”顺利通过专家组验收。

  

验收评审会现场

  大口径平面镜面形精度直接影响各类光学系统制造精度。高精度大口径平面镜必须依靠平面面形检测技术才能得以研制。因此大口径平面镜和异形孔径平面镜检测,一直是精密光学制造与天文技术领域的研究热点。如何实现大口径平面镜的高效快速高精度检测?最直接有效的技术路径是研制大口径平面干涉仪。

  我国大口径平面干涉仪长期依赖进口,价格高昂且受制于外国。我公司作为国内大口径光学测试设备的专业供应商和生产商, 无论从解决国家战略科学仪器“卡脖子”的角度,还是从科研仪器国产化需求的角度,研制800mm口径平面干涉仪都责无旁贷。为此,公司联合南京理工大学,于2018年5月启动项目研发。

  800mm平面干涉仪是重大光学检测仪器,由光学系统、机械系统、电气系统、计算机数据处理系统等组成。光学设计部分保证干涉仪波面测试质量、频率传递能力;精密机械部分保证干涉仪标准光学元件的高精度面形质量、气浮移动和稳定可靠的调整。电路部分保证调整与信号采集过程的自动化;计算机软硬件部分保证图像采集与移相算法的同步通讯、控制及图像处理、波长调谐移相干涉、数据处理、波面分析、Zernike多项式等软件包的集成与结果输出。

  李金鹏博士为首的研发团队和南理工团队紧密合作,攻克多项关键技术,于2021年12月完成项目研发。该设备实现了大口径平面镜的自动化测量,能排除人工判读或是复杂实验步骤对测量的干扰,检测效率与精度大幅提升。项目拥有完整的自主知识产权,技术完全自主可控。南京理工大学朱日宏教授评价说:“这台800mm平面干涉仪是当前国内国产化程度最高、口径最大的平面干涉仪,对于提高我国大口径光学检测能力具有重要意义”。

评审专家和项目成员合影

  

800mm平面干涉仪现场验收合影

  

附件:
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